Micro OLED AOI
Micro OLED AOI
設(shè)備型號(hào)：MWIN300
外形尺寸：1600*2600*1800mm
兼容尺寸：8~12inch
平臺(tái)精度：氣浮平臺(tái)，精度可達(dá)<0.05um
成像配置：缺陷檢測(cè)能力:200nm@明場(chǎng)
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