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Micro OLED AOI

Micro OLED AOI

設(shè)備型號(hào):MWIN300


外形尺寸:1600*2600*1800mm


兼容尺寸:8~12inch


平臺(tái)精度:氣浮平臺(tái),精度可達(dá)<0.05um


成像配置:缺陷檢測(cè)能力:200nm@明場(chǎng)

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