設(shè)備型號：A4586

外形尺寸：3000*2000*1800mm

兼容尺寸：4.5~8.6代線

平臺精度：00級大理石平臺 + 氣浮搬運傳輸機構(gòu)

成像配置：2D表面缺陷檢測能力：1um@明場

????◆ 平板顯示制作過程，圖形工藝缺陷檢查

◆ Glass基板，表面缺陷

◆ 兼容Bright Field, Dark Field 缺陷檢測模式

◆ 兼容多種算法聯(lián)合檢測，配備AI深度學習及ADC功能

◆ 2D圖形缺陷檢測

◆ 2D關(guān)鍵尺寸檢測(CD/Overlap)

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