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Micro OLED AOI

Micro OLED AOI

設備型號:MWIN300


外形尺寸:1600*2600*1800mm


兼容尺寸:8~12inch


平臺精度:氣浮平臺,精度可達<0.05um


成像配置:缺陷檢測能力:200nm@明場

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