設(shè)備型號：OVL200

外形尺寸：4000*2000*1800mm

檢測內(nèi)容：Overlay精度量測

平臺精度：00級大理石平臺

成像配置：

IBO模式；
BoxIn Box、Bar In Bar、AlM；
OVL Precision<2nm,OVL TSl<1nm；
CD Precision<7nm(3西格瑪)；

????◆ 納米級高精密

◆ 毫秒級整定時間

◆ 主動減振

◆ 亞像素定位

◆ 自動聚焦

◆ 自適應(yīng)算法

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