Wafer AOI
Wafer AOI
設(shè)備型號(hào)：WIN-200，WIN-300
外形尺寸：1600*2600*1800mm
檢測內(nèi)容：4/6/8 inch Wafer，可擴(kuò)展支持8~12inch
平臺(tái)精度：氣浮平臺(tái)，精度可達(dá)<0.05um
成像配置：缺陷檢測能力:100nm@明場
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Package AOI
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場發(fā)射掃描電子顯微鏡KYKY-EM8100
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